光刻機的原理是利用光刻機發(fā)出的光，通過具有圖形的光罩，對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，使光罩上的圖形復印到薄片上，從而讓薄片具有電子線路圖的作用。

光刻的作用，類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是電路圖和其他電子元件。

光刻機就是放大的單反，光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上，形成圖形。

光刻是集成電路最重要的加工工藝，如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術(shù)，在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術(shù)。