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普通透射電鏡由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)5部分構(gòu)成。主體部分是電子透鏡和顯像記錄系統(tǒng),由置于真空中的電子槍、聚光鏡、物樣室、 物鏡、衍射鏡、中間鏡、 投影鏡、熒光屏和照相機。
透射電鏡是指透射電子顯微鏡。是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來。
透射電鏡的結(jié)構(gòu):
照明系統(tǒng):包括電子槍和聚光鏡2個主要部件,它的功用主要在于向樣品及成像系統(tǒng)提供亮度足夠的光源,電子束流,對它的要求是輸出的電子束波長單一穩(wěn)定,亮度均勻一致,調(diào)整方便,像散小。
成像系統(tǒng):主要由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。物鏡是用來形成第一幅高分辨率電子顯微圖像或電子衍射花樣的透鏡。透射電子顯微鏡分辨本領(lǐng)的高低主要取決于物鏡。因為物鏡的任何缺陷都被成像系統(tǒng)中其它透鏡進一步放大。欲獲得物鏡的高分辨率,必須盡可能降低像差。通常采用強激磁,短焦距的物鏡。
真空系統(tǒng):電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對真空度要求很高,電鏡工作必須保持在10-3~10Pa以上的真空度(高性能的電鏡對真空度的要求更達10Pa以上),因為鏡筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞,就會產(chǎn)生電離放電和散射電子,從而引起電子束不穩(wěn)定,增加像差,污染樣品,并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化,縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來共同配合抽取的。
記錄系統(tǒng):觀察和記錄系統(tǒng)包括熒光屏和照相機構(gòu)。熒光屏涂有在暗室操作條件下,人眼較敏感、發(fā)綠光的熒光物質(zhì),有利于高放大倍數(shù)、低亮度圖像的聚集和觀察。
電源系統(tǒng):電源系統(tǒng)有電子槍電源,控制線路電源和透鏡電源,提供電源。真空系統(tǒng)的作用是讓鏡筒維持真空度,使電子槍倆端電極處于真空狀態(tài),防止倆級中氣體分子與電子接觸改變電子運動軌跡,防止樣品污染。
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